SK하이닉스는 24일 이사회를 열고 EUV 스캐너 기계장치 구입에 4조7549억원을 투자하기로 의결했다고 밝혔다. 취득 예정일은 2025년 12월1일이다.
거래 대상은 네덜란드 반도체 장비기업 ASML이다. 세계에서 유일하게 EUV 장비를 생산하는 곳이다.
이번 투자 결정에 대해 SK하이닉스는 "차세대 공정 양산 대응을 위한 EUV 장비 확보 차원"이라며 "ASML사와 5년간 기계장치 구매 계약을 통해 취득할 예정"이라고 설명했다.
또 회사는 "취득예정일자는 최종 기계장치를 인도받을 것으로 예상되는 일자 기준이며 계약상대방과의 협의에 따라 변경될 수 있다"며 "개별 장비의 취득 시마다 분할해 비용을 지불할 예정"이라고 덧붙였다.
EUV는 원재료인 실리콘 웨이퍼에 회로를 그리는 노광 공정에 활용되는 기술이다. ASML에서 한 해 생산할 수 있는 EUV 장비는 40여대 수준으로 알려져 있다. EUV 대당 가격이 2000억원 수준임을 감안하면 SK하이닉스가 이번 계약을 통해 최대 20대까지 확보 가능할 것으로 추정된다.
SK하이닉스는 이번 계약으로 확보한 EUV 장비를 이천 M16 팹에 추가로 투입할 것으로 보인다. 이달 초 EUV 장비가 도입된 반도체 라인 M16를 준공해 차세대 D램 양산에 돌입했다. SK하이닉스는 장비를 추가로 투입해 4세대 10나노급(1a) D램 제품을 생산할 것으로 관측된다.
SK하이닉스 관계자는 <뉴스토마토>에 "4세대 10나노급부터는 본격적으로 EUV 장비를 활용할 계획"이라며 "이번 계약은 장비 확보 차원"이라고 설명했다.
SK하이닉스 이천 M16 전경. 사진/SK하이닉스
최유라 기자 cyoora17@etomato.com