10일 SK하이닉스에 따르면 전날 오후 8시20분께 충북 청주시 흥덕구 향정동에 있는 SK하이닉스 청주3공장에서 TDMAT 소량이 누출됐다. TDMAT는 반도체 웨이퍼에 티타늄을 입히는 용도로 쓰이며 유해 화학물질로 등록되지는 않았다.
이 사고로 직원들이 긴급 대피했으며 인명 피해는 발생하지 않았다. 현재 공장은 정상적으로 가동되고 있다.
지난 2008년 준공된 SK하이닉스 청주3공장은 낸드플래시를 생산하고 있다.
김광연 기자 fun3503@etomato.com